除静电装置
棒类型
MP除静电器 5635
可以索取产品目录实现了从未有过的超低生尘。在半导体前道工艺中，由于仪器的微小化，造成对静电、粒子的管理水平要求越来越严格。除静电装置具有良好的消除静电的效果，但同时也具有成为生尘源的风险。5635型除静电器为了降低此风险，开发管理10nm粒径的生尘特性，最适合在需要100nm以下的微小粒子管理的区域除去静电。
| 产品的特点 |
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| 除静电器Model 5635 共同规格 | |
| 离子产生方式 | 调制脉冲方式（modulated pulse） |
| 离子平衡控制方式 | 内装自动平衡调节功能（取得专利） |
| 输入 | DC24V（±10%）0.25A（450mm）～ 0.7A（2350mm）Typ ＊请使用满足上述规格的市场销售电源。 |
| 输出 | 最大 大约13.5kV（p-p） |
| 调节功能 | 输出电压、产生频率 |
| 使用气体 | 高纯度氮气或者洁净干燥空气 ＊如果需要实施微小粒子管理，请不要排气。 |
| 使用气体的流量 | 大约～4立升／喷嘴，最大0.31Mpa 8mm OD管道 ＊如果需要实施微小粒子管理，请不要排气。 |
| 电极 | 单结晶硅电极 |
| 安全对策 | 1）过电流控制电路 |
| 认证 | CE、RoHS |
| 除静电器 Model 5635 各种型号的规格 | ||
| 5635-450 | ||
| 尺寸 | (L)450ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 8个 | |
| 重量 | 600g | |
| 5635-600 | ||
| 尺寸 | (L)600ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 11个 | |
| 重量 | 700g | |
| 5635-850 | ||
| 尺寸 | (L)850ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 11个 | |
| 重量 | 1100g | |
| 5635-1000 | ||
| 尺寸 | (L)1000ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 13个 | |
| 重量 | 1,100g | |
| 5635-1150 | ||
| 尺寸 | (L)1150ｘ(W)34ｘ(L)78mm | |
| 电极数目 | 15个 | |
| 重量 | 1,200g | |
| 5635-1300 | ||
| 尺寸 | (L)1300ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 17个 | |
| 重量 | 1300g | |
| 5635-1450 | ||
| 尺寸 | (L)1450ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 19个 | |
| 重量 | 1500g | |
| 5635-1600 | ||
| 尺寸 | (L)1600ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 21个 | |
| 重量 | 1600g | |
| 5635-1750 | ||
| 尺寸 | (L)1750ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 23个 | |
| 重量 | 1700g | |
| 5635-1900 | ||
| 尺寸 | (L)1900ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 25个 | |
| 重量 | 1800g | |
| 5635-2050 | ||
| 尺寸 | (L)2050ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 27个 | |
| 重量 | 1900g | |
| 5635-2200 | ||
| 尺寸 | (L)2200ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 29个 | |
| 重量 | 2000g | |
| 5635-2350 | ||
| 尺寸 | (L)2350ｘ(W)34ｘ(H)78mm | |
| 电极数目 | 31个 | |
| 重量 | 2100g | |