静电对策材料
防剥离带电涂膜
フラットパネルディスプレイ製造工程での剥離帯電防止コーティング
防剥离带电涂膜 NF-685B/NF-685/NF-718ECB
长期抑制由于剥离导致的静电!成功解决了由剥离带电导致的各种生产障碍,实现对玻璃基板的温和保护!
- 吸着能量低,具有优越的非粘着性,且摩擦系数低,因此与玻璃基板的相互作用小,可抑制由于剥离导致的静电发生。
- 由于是导电性涂膜,涂膜薄膜不带电,不会对玻璃基板产生不良影响。
- 减少由于玻璃基板背面的污染导致的粘着物。
- 提升时间的变更不会导致生产时间的低下。
- 柔软的氟素树脂能够温和保护玻璃基板。
- 光滑性佳,可以提高对准性能。
- 即使长时间使用,也不会发生ESD问题,寿命长。
- 现在使用中的真空夹盘上也可以做氟素施工。
高品质 |
严格实施品质管理,在洁净室内进行液晶以及半导体相关的涂膜施工。此外,防剥离带电涂膜也在洁净室内进行施工。这样可以防止对涂膜的污染或产生杂质。由于高品位的涂膜里没有混入异物,可防止玻璃基板被夹盘吸着时导致的损伤事故。
高精度大型工作台 |
满足高平面度的要求
由于防剥离带电涂膜的施工中,使用最高360C进行烧结,因此高平面度要求的工作台需要采取防止热变形的对策。制造厂家通过独特的施工技术,采用特殊工程实现对平面度的高要求。此外,公司还通过与客户进行设计商讨,根据不同的用途和所需精度,向客户提案最适合工法。
高精度大型工作台
还实现了应对第8代产品的洁净室内的施工。并且拥有通过多年经验和实绩积累所形成的高精度大型加工技术。对于高精度大型制造装置(要求高于以往技术的制作技术)的采用也不断增加。
实绩例
工作台尺寸 | 平面度 |
直径320 × 15mm | 10μm |
730×920×30mm | 10μm |
1,500×1,500×30mm | 20μm |
2,280×2,280×30mm | 20μm |
规格
规格 | 颜色 | 膜厚 | 特征 |
NF-685B | 黑色 | 30μm | 标准品、 最多的实绩 |
NF-685 | 白色系 | 40μm | 标准品 |
NF-718ECB | 黑色 | 2mm | 超膜厚、 2次加工用 |