イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

バータイプ・天井用タイプ

環境の層流を利用した、クラス1〜100対応の装置・ルーム向けイオナイザ

エアロバー 5225

製品のカタログ請求が可能です。

エアロバー５２２５は、インツールイオナイゼーション用に開発されたイオナイザです。

装置内のイオナイザのモニタリングを装置外から可能としました。

エアロバー5225は、半導体製造装置内の静電気を低減し、且つイオナイザのメンテナンスをより簡便にしたシステムです。専用ソフトウェアおよびリモートコントローラによるバー個別の制御が可能になりました。これによって、各バーの個別調整さらに稼働状況の常時モニタリングを実現しました。

確かな信頼性

エアロバー5225は、高品質と高い信頼性を実現します。シーケンスバイポーラ・イオナイザテクノロジーの特許を取得しております。イオン発生方式は、DC・パルスDC方式の選択が可能であり、用途に応じてイオンを供給することが可能です。また、低電圧配線方式を採用することにより、システムの拡張・移設が簡単に行うことが可能であり、安全性も考慮した設計になっております。

海外サポートの充実

海外サポートの充実は、現地でのイオナイザ管理に欠かせないものです。シムコ・イオンでは世界各国に販売・サービス拠点を設置し、迅速かつ適切な海外現地サポートをいつでも必要な時に受けることが可能です。また、シムコ・イオンの製品はCE、RoHSなどの世界各国の規格に対応しており、海外でも安心してご使用いただけます。