管理機器
静電気対策がきちんと効果を発揮しているのかどうか、確認する測定器ツールです。
また、静電気問題の発生している可能性がある箇所を調査するためにも使用されます。
その他
その他、対策管理の見える化をサポート
微粒子可視化システム（ViEST）
※ViESTは新日本空調株式会社の登録商標です。
放送用高感度カメラ等に採用されている撮像素子ＡＰイメージャを使用し、信号処理部にリアルタイム微分処理機能を付加した特殊モノクロカメラです。肉眼やＣＣＤカメラでは識別しにくい微弱なコントラストの像の検出を可能にしました。
ＡＰイメージャとは
ＡＰイメージャとは、高電界下のアモルファスセレン光導電膜内で起きる電荷のアバランシェ増倍現象（最高倍率200倍）を応用した高感度撮像画子です増倍に伴う付加雑音がほとんどないため、低照度撮影時でも鮮明な画像を得ることができます。
従来クリーンルームでのパーティクル対策ならびに管理はパーティクルモニタを使用して数値による管理が主でした。数値による管理はもちろん定数的に必要なことなのですが、パーティクルの動きを見たい、どのタイミングでパーティクルが発生するのか、パーティクルはどこから来るのか？など定性的な対策アプローチは従来のパーティクルモニタでは難しいのではないでしょうか？
このカメラを使うことによって、今まで見えなかったパーティクルを可視化してパーティクルの挙動をつかむことにより、対策の仮説を立てやすく、かつ対策前後の効果も直感的にわかりやすく評価することができます。
例）イオナイザによる除電の有無によるパーティクル付着効果の違いを
可視化した動画
| システムの特長 |
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