イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

バータイプ・天井用タイプ

環境の層流を利用した、クラス1〜100対応の装置・ルーム向けイオナイザ

MPエアロバー 5635

製品のカタログ請求が可能です。

超低発塵型イオナイザです。

半導体前工程装置内向け設計

従来にない、超低発塵を実現しております。半導体前工程では、デバイスの微細化に伴い静電気、パーティクル管理のレベルがより厳しくなっております。イオナイザは静電気除電に大きな効果がある一方で発塵源となるリスクもあります。この5635型はそのリスク低減のため10nm粒径にて発塵特性を開発管理しており、100nm以下の微小パーティクル管理が必要なエリアの除電用途に最適なイオナイザです。

モジュレーテッドパルス方式

コロナ放電型イオナイザはパルスDC方式、ストレートDC方式、AC方式パルスAC方式に大別されます。ひとつの電極から正イオンと負イオンが１～３０Hzの周波数で発生するため、基板表面における正イオンと負イオンの偏りがないですが、他のAC方式やパルスDC方式同様、正イオンと負イオンを交互に基板に供給していることにはかわりがなく、一旦ウエハが除電された後はウエハ表面の電位がスイングしてしまい一定の電位を保持してしまいます。シムコ・イオンシステムズが開発したモジュレーテッドパスル方式（パルス変調方式）を採用したMPエアロバー 56３5はこの電位スイングを低く抑制しつつ従来品と同等以上の除電能力を有するという特長があります。

海外サポートの充実

海外サポートの充実は、現地でのイオナイザ管理に欠かせないものです。シムコ・シムコ・イオンでは世界各国に販売・サービス拠点を設置し、迅速かつ適切な海外現地サポートをいつでも必要な時に受けることが可能です。また、シムコ・シムコ・イオンの製品はCE、RoHSなどの世界各国の規格に対応しており、海外でも安心してご使用いただけます。