次世代の静電気対策管理用ツール

CTC034

仮定ではなく実証

電子部品製造工程での不良発生原因としてESD(静電気放電)損傷があります。これらの工程では静電気対策としてリストストラップ・帯電防止マット・導電性床材・イオナイザなどが数多く使用されていますが、それらの対策によりESDが発生しないという確証はありません。
EM Awareは、ESD発生に伴うノイズを検知することにより、その発生を捉え、ESD対策が確実で有効なものかどうかを実証することができるESDイベントモニタです。

ESD対策効果確認用ツールとして

ほとんどの製造環境では、温度や湿度、パーティクルなどの重要なパラメータは常時モニタリングしています。ESD イベントも重要なパラメータの一つとして考え、静電気的に安全な環境を維持することが重要となります。EM Aware は、ESDイベント情報をリアルタイムと履歴で把握し、環境のESD 安全性を確認することが可能です。

ESD問題発生時に

おける調査用ツールとして従来の問題抽出の方法としては、歩留まりという結果で評価を行っています。ESDイベントと歩留まりの因果関係を見ることによって、より具体的なESD管理体制を構築します。

装置内静電気管理用ツールとして

製造装置との結合によって、管理レベルを超えた強度のESDを受けたデバイスを自動的に別トレイ／カセットへの分配に活用いただけます。また、装置側でESD発生時のデータをストックすることで、問題発生時の不良解析の際にESDという観点からの分析が可能です。

オールインワンワークステーションモニタ

EM Aware は、リストストラップモニタWS Aware と接続することが可能です。EM Awareと接続することで、作業台上でのESDイベント、帯電、リストストラップ、設備の接地などの状態を一括で管理するワークステーションモニタとして使用することができます。

EMAwareスターターキット(オプション)

EM Awareの特徴は、ESDイベントをデータ出力することができる点です。本体側にデータ出力端子を備えており、FMSやデータ収集システム／オシロスコープに接続することができますが、お手持ちのパソコンに接続する際には、スターターキット(オプション)をご利用ください。スターターキットは、パソコンに接続することによって、ESDイベントを視覚的に確認することができます。工程内の調査や対策の評価に活用することができます。 データ収集システム(DAQ)に信号を出力することにより、右図画面のようにデータ収集が可能です。