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真空プロセス関連製品

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GP・HPS ゲージ/継手/バルブ

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GP製品コンベクトロン

コンベクトロン275 Convectron® モジュール

  • 測定レンジ:10e-2Pa~大気圧
  • 表示器付モジュール,セットポイント,デジタルI/O

コンベクトロン275 Convectron® 真空ゲージ + 475コントローラ

  • 測定レンジ:10e-2Pa~大気圧
  • セットポイント有,デジタルI/O

GP・HPSゲージ (ピラニー/コールドカソード)

コールドカソード高真空ゲージ943(コントローラ)/423(センサ)

  • 測定レンジ:10-8~1Pa
  • セットポイント:2個内蔵

コンベクションピラニゲージ-947(コントローラ)/317(センサ)

  • 測定レンジ:1.3X10-1~ 1.3X10+5Pa
  • セットポイント:2個内蔵

ヒーター/継ぎ手/バルブ

真空バルブ

  • コンパクトベローズタイプ、自己加熱型ソフトスタートが可能な
    2ステージバルブ等、用途に応じた各種真空バルブ
145シリーズ
150-160シリーズ
2ステージバルブ
メタルシールアイソレーションバルブ