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真空プロセス関連製品

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GP・HPS ゲージ/継手/バルブ

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GP製品コンベクトロン

コンベクトロン275 Convectron® モジュール

  • 測定レンジ:10e-2Pa~大気圧
  • 表示器付モジュール,セットポイント,デジタルI/O

コンベクトロン275 Convectron® 真空ゲージ + 475コントローラ

  • 測定レンジ:10e-2Pa~大気圧
  • セットポイント有,デジタルI/O

GP・HPSゲージ (ピラニー/コールドカソード)

ピラニ真空ゲージ-945(コントローラ)/345(センサ)

  • 測定レンジ:10-2Pa~大気圧
  • セットポイント:2個内蔵
  • 精度:読み値の±5%

ピラニ真空ゲージ-979B

  • 測定レンジ:6.7X10-8Pa~大気圧
  • デジタル通信:RS235、RS485
  • 精度:読み値の20%(10-7~10-1Pa)
  • 読み値の5%(10-1~13kPa)
  • 電源供給:24VDC

コールドカソード高真空ゲージ943(コントローラ)/423(センサ)

  • 測定レンジ:10-8~1Pa
  • セットポイント:2個内蔵

コンベクションピラニゲージ-947(コントローラ)/317(センサ)

  • 測定レンジ:1.3X10-1~ 1.3X10+5Pa
  • セットポイント:2個内蔵

ヒーター/継ぎ手/バルブ

ヒーテッドポンプライン-46シリーズ

  • 真空配管用の成型仕様ヒーター
  • 設定温度:105℃、150℃
  • 設定温度から±20℃を超えた場合はアラーム通知

真空配管部品、継ぎ手 

  • ISO-KF、ISO-MF、CF含む各種真空部品および継ぎ手

真空バルブ

  • コンパクトベローズタイプ、自己加熱型ソフトスタートが可能な
    2ステージバルブ等、用途に応じた各種真空バルブ
145シリーズ
150-160シリーズ
2ステージバルブ
メタルシールアイソレーションバルブ

水冷トラップ

  • シリコンナイトライドプロセス用水冷トラップ始め、TEOS
    トラップメタルエッチトラップ等、半導体製造プロセスの
    歩留まりを改善する各種トラップ