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真空プロセス関連製品

RF/DC電源

ENIプロダクツ

コンパクトRF電源-SPECTRUM

  • コンパクトボディと優れたプロセスの再現性を両立させたRF電源
  • ACからRFへの変換効率が80%(50Ω負荷にて)
  • 3kW、5kW、11kW出力

スパッタリングDC電源-OPTIMA

  • 今日の高度なスパッタリングプロセスに要求される
    コントロール速度、正確さを実現したDC電源
  • 定格出力:5kW~100kW

ASTeXプロダクツ

マイクロ波電源/プラズマソース-SmartPower

  • コンパクトサイズ、低リップルのマイクロ波電源
  • アプリケーションにあわせた各種タイプ有