除静电装

光除静电装置类型

UV除静电装置 IUV-303

唯一在减压下除去静电的技术

IUV-303紫外线照射除静电装置具有划时代的性能，可以适应有机EL的制造过程等在惰性气体或者减压情况下需要控制静电的工艺，是本公司开发的唯一可以在惰性气体和减压情况下消除静电的除静电系统。不存在像以往光学离子化仪从电极产生灰尘和臭氧等问题，实现了洁净的除静电。

特征

• (1) 在减压情况下可以发挥最大的效果
• 越是在减压条件下，离子的平均自由行程越长，除去静电的性能也就越高。
• (2) 可以在短时间内除去静电
• 虽然晶片等的带电电位衰减至1/10，但是在常压下可以在1～2sec、在减压下可以在数ms之内除去静电。
• (3) 残留电位为0V
• 由于正负离子以及电位在空间中是均匀分布的，所以除静电对象上的残留电位为0V。
• (4) 不依赖气体的流量
• 在紫外线照射方式中，由于是在大范围内对气体进行离子化，所以除静电性能稳定，与气体的流动状况没有关系。
• (5) 没有电磁干扰
• 由于系统是通过紫外线照射而进行离子化，所以不产生电磁干扰。
• (6) 可以适应于任何制造装置
• 本系统仅由氘灯、电源装置和法兰的3件构成。可以非常容易地安装在制造装置和运送通道上。
• (7) 无需维修保养
• 不需要离子平衡调节等日常的维修保养，仅更换氘灯即可。

距紫外线的距离与除静电时间之间的关系

除静电性能与环境气体压力之间的关系

UV除静电装置 IUV-303　基本规格
类型（氘灯）：UVL-30
方式	真空紫外线照射方式
尺寸	30φ × 68L（窗径15φ）
光源	真空紫外线氘灯
放射紫外线波长范围	115nm～400nm
功耗	30W
冷却方式	自然空气冷却方式
材质	主体 硼硅酸耐热玻璃 窗材MgF2
重量	50g
类型（电源装置）：PU-UV-303
尺寸	117W × 90H × 200D
输出	阳极用输出80±20Vdc/300±30mAdc 加热器输出1.0Vdc
冷却方式	强制空气冷却方式
接口	ON-OFF控制 连接光耦合器 外加24Vdc OFF大约5～25mA 点灯信号 连接光耦合器 点灯时输出ON最大10mA（24Vdc max）
电源·耗电量	1φ100～240VDC　50/60Hz　大约90VA
重量	1.8kg
类型（真空法兰）：UVF-30
规格	各自对应ICF·NW·JIS
尺寸	70φ × 109W × 80.7H（ICF70）
重量	400g

※请不要让紫外线直射眼睛或者长时间地注视紫外线。
※作为选购件还提供氘灯运行时间定时器（外置型）。

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