粒子堆積率をアセスメントして「粗大粒子」対策

粗大粒子による汚染現象を構成するたった2つのメカニズム「接触転移」と「沈降堆積」のうち、本機材は「沈降堆積」を常時監視する機材である。
オペレーショナルなクリーンルーム環境において、汚染粒子が“いつ”多く沈降堆積する周期にあるかをモニタリングし、その測定データから人や組織の行動・規律を改善していく。
この沈降堆積現象の背後には、エリアの表面清浄度、そこを通過した事物の表面清浄度が影響しており、環境の汚染進行速度の確認に加え、PartSensを通じて表面清浄度の改善を要する対象の特定も可能。

粒子の「持ち込み」「発塵」をAPMON/PartSensで数値化する

不適切な「挙動」を最短５分で検出
落下粒子の粒度分布を分析・評価し、製造ラインの清浄度改善へ導く

APMONは、粒子堆積が増加する瞬間(パーティクルイベント)をリアルタイムで監視する機材です。これにより、人や組織の「不適切な活動」を検出し、その発塵量と粒度分布を数値化することができます。

APMONは、空気中から落下・堆積する割合が50％以上とされる、15μｍ以上の粒子を検出します。
カートリッジ上に堆積した粒子は、粒径分布としてグラフ化することもできます。

• 付属品

  ・検出カートリッジ
  　出荷検証時使用×1個
  　予備×3個
  ・電源アダプタ
  ・各種ケーブル

• オプション

  ・ディスプレイ
  ・マウス
  ・キーボード

センサ

検出カートリッジ

本体