持ち込み異物による汚染進行のメカニズム

クリーンルームという箱に、人・設備・部資材・治工具などが投入されなければ、クリーンルームはキレイな箱であり続けます。
クリーンルーム内の異物の約80％は、その外からの持ち込みと言われています。

最大の汚染源は、ヒト＝クリーンウエアです。
「エアーシャワーを浴びるから」「クリーン洗浄されているから」などの理由で、クリーンウエアに汚染が無いかの錯覚をお持ちの工場様を全国でお見受けしますが、果たして本当にそうでしょうか。帯電により張り付いたクリーンウエア表面の異物はエアーシャワーだけで除去しきれないのみならず、正しく運用されていないエアーシャワーでは付着異物を増やすことさえあります。またクリーン洗浄されたクリーンウエアの表面清浄度を測定すると、開封直後で25～50μmの異物が100個/10㎠程度付着していることが多々見受けられることについて、このクリーンルーム業界ではあまり知られていません。

こうして、人や部資材を介してクリーンルームに持ち込まれた異物は、落下・堆積と舞い上がりを繰り返しながら、クリーンルームの奥深くまで侵入し、徐々に皆様のクリーンルームを汚染し、最終的には製品を汚染するに至ります。

クリーンルームのクリーン化を推進する上で、まず取り組むべきは、こうした「持ち込み異物」への対策を講じ、外からの異物侵入を制限することです。

ルームイオナイザーの広範囲に及ぶ除電効果は、クリーンルームに限らず、更衣室・資材庫、一般工程などあらゆる環境で異物に対して、そして要員の習熟度やクリーン意識の高い低いに関わらず、効果を発揮します。

参考資料

01クリーンウエア表面異物堆積傾向からわかる「持ち込み異物」低減効果

更衣室でのルームイオナイザーなし/ありの際における、クリーンウエアの表面清浄度をモニタリングする。

【参考データ】クリーンウエア表面清浄度モニタリング

02クリーンルーム床面落下異物

クリーンルーム内、エアーシャワー通過後のエリアの床に落下堆積した異物数を更衣室のルームイオナイザーOFF/ONで比較する。
※ルームイオナイザーの設置は、更衣室・エアーシャワー前室のみ。
※ONのデータはルームイオナイザーON後 3週間経過後。

【参考データ】4日間の合計異物落下数のカウント・比較