IONIZER
製品について
ルームイオナイザー

異物を「落としやすく」「付着しづらく」するエリア対応型イオナイザー

クリーンルームアプリケーション
異物付着防止

クリーンルームファシリティ全体の
クリーン度向上
パーティクルの低減

ファシリティ設計上のクリーン度は、
変更が容易ではない。
進化するエレクトロニクス産業と、更なるクリーンのその先に。

パーティクル低減のメカニズム

気流に乗り排除される浮遊微粒子。しかし、パーティクルそのものも電位を帯び、互いに干渉し合いながら、時には気流に抗い最終的には空間から排除されていきます。

ルームイオナイザーによる広範囲除電は、製品やケースなど汚染を防ぎたい帯電した物体の除電を行うだけでなく、環境雰囲気全体の除電を行うことで浮遊パーティクルにも効果的です。

電位が中和されたパーティクルは、よりスムーズに気流に乗り、排除されやすくなります。

ルームイオナイザーは、より浮遊パーティクルを低減したいファシリティに対してだけでなく、気流制御装置の使用を抑制しつつ、従来のクリーン度を保ちたいファシリティに対しても効果的であると考えられます。

クリーンルームにおける除電効果

絶縁素材など帯電しやすい製品や、汚染リスクのある備品を保護します

製品や備品の例

FOUP
ウエハー
絶縁シート
基板
フォトマスク

参考資料

ルームイオナイザーによるパーティクル制御効果

ルームイオナイザーなし/ありの際における、クリーンルーム内の浮遊パーティクルの違い

【参考】ルームイオナイザーの有無におけるパーティクル量のモニタリング

特定箇所・設備での設置も効果的です

特に異物にシビアな装置や
設備外周
での設置

ローダー・アンローダー /
ポートポジション全体
への設置

帯電しやすい
物品製品の保管エリア

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現在のクリーンルーム状況や異物対策に関するご不明点など、
お悩みの大小を問わずお気軽にご相談ください。
多くの知見を持つ担当営業がお応えします。