アプリケーション
リスク粒子の計測・監視・改善
5μm、10μm、25μm、50μm、100μmなど"粗大粒子"と呼ばれる大きい粒径の粒子は、質量をもつがゆえに空気中に漂い続けることなく、落下堆積する。それらはパーティクルカウンターで計測することができず、従来清浄度の高いクリーンルームでは存在しないかのような錯覚がもたらされていた。
これら粒子は、あらゆる表面に堆積または付着し、"接触転移"まはた"沈降堆積"を繰り返し、最終的に製品の"汚染"にたどり着く。
本機材は、リスク粒子の計測・監視・改善を行い、本質的なクリーン化の達成に向けた計測機材である。
PartSensを用いた測定イメージ
測定方法
専用テープリフトパッドであらゆる箇所の表面清浄度を測定
PartSensは、製造環境における表面汚染の傾向を瞬時に数値化する、革新的な清浄度モニタリング装置です。
数秒で測定が完了し、粒子を自動計数するだけでなく、検出した粒子を「反射性粒子」「非反射性粒子」「繊維」に分類する簡易分類機能も備えています。
測定方法
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STEP 01
専用のテープリフトパッド（別売・消耗品）を測定対象表面にあて、表面異物を採取
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STEP 02
表面異物を採取したテープリフトパッドを専用台にセット
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STEP 03
表面異物を採取したテープリフトパッドを専用台にセット
これにより、ヒト・ウエア・設備・部材・ツールなどの平坦でない表面の清浄度測定が数秒間で測定可能
※推奨保管環境：室温+10～20℃、湿度60～70RH%
表示される測定データ
機器構成・仕様
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付属品
・測定専用台
・バッテリー×２
・電源アダプタ
・専用ケース
・USBメモリ -
消耗品
・テープリフトパッド -
オプション
・Bluetoothプリンタ
・プリンタ用ロール紙
本体
| 測定原理 | グランシングライト照射式（ISO14644-9準拠） |
|---|---|
| 測定項目 | 粒子径、粒子数、種別分類（反射性粒子、非反射性粒子、繊維） |
| 検出サイズ(最長径で検出） | 非反射性粒子 2 µm ~ > 3000 µm 反射性粒子 25 µm ~ > 3000 µm 繊維 50 µm ~ > 3000 µm |
| 粒子径分布の表示 | VDA19及びISO16232参照 |
| 測定結果の表示様式 | 粒度分布、粒度分布／1000c㎡、累積粒子、累積粒子／1000c㎡ |
| 測定時間 | 10秒程度 |
| 1画像あたりの画素数 | 3872 × 2764 ピクセル |
| データ保存数 | 約300データ（測定内容により変動） |
| スクリーン | タッチスクリーン, 12.1” TFT（クリーンルーム用グローブ対応） |
| データ出力 | TCP/IP, USB Type A（CSVデータ）, HDMI |
| 電源 | アダプタ AC入力 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC出力 24 VDC @ 5A LIB 定格電圧 11.1V, 7800mAh × 2個 |
| 重量 | 7.7 kg (バッテリー有), 6.7 kg（ バッテリーなし） |
測定プローブ
| 検出エリア | 2.68cm（2 19.36 × 13.82 ｍｍ） |
|---|---|
| 測定データ転送方法 | 無線LAN 2.4GHｚ |
| 使用範囲 | 本体から10 ｍ以内 |
| 電源 | ニッケル水素電池 |
| 校正 | 年1回 推奨 |
| スクリーン | タッチスクリーン, LCD |