イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

バータイプ・天井用タイプ

環境の層流を利用した、クラス1〜100対応の装置・ルーム向けイオナイザ

マイクロワイヤイオナイザ 5710

製品のカタログ請求が可能です。

静電気に敏感な最新ＦＰＤ及びエレクトロニクスデバイス用バータイプイオナイザです。

ワイヤー（μＷｉｒｅ）電極の利点

1. 全面イオン発生 – 近接設置もムラ無し除電。

2. 少ないエネルギーで効率の高いイオン発生が可能で、省メンテナンス性に貢献。


3. ワンアクションクリーニング操作。

MicroPulse方式

コロナ放電型イオナイザはパルスDC方式、ストレートDC方式、AC方式パルスAC方式に大別されます。ひとつの電極から正イオンと負イオンが１～３０Hzの周波数で発生するため、基板表面における正イオンと負イオンの偏りがないですが、他のAC方式やパルスDC方式同様、正イオンと負イオンを交互に基板に供給していることにはかわりがなく、一旦ウエハが除電された後はウエハ表面の電位がスイングしてしまい一定の電位を保持してしまいます。シムコ・イオンシステムズが開発したMicroPulse方式（マイクロパルス高電圧印加方式）を採用したμWire AeroBar 5710はこの電位スイングを低く抑制しつつ従来品と同等以上の除電能力を有するという特長があります。

海外サポートの充実

海外サポートの充実は、現地でのイオナイザ管理に欠かせないものです。シムコ・シムコ・イオンでは世界各国に販売・サービス拠点を設置し、迅速かつ適切な海外現地サポートをいつでも必要な時に受けることが可能です。また、シムコ・シムコ・イオンの製品はCE、RoHSなどの世界各国の規格に対応しており、海外でも安心してご使用いただけます。