排気スロットルバルブ－653

• フランジ形式：ISO-KF／NW
• フランジサイズ：最高12インチ
• 応答速度：1.7秒（開→閉）
• フラッパ位置表示器付

排気スロットルバルブ－253

• フランジ形式：ISO-KF／NW
• フランジサイズ：最高4インチ
• 高いポンピング速度効率
• 広いダイナミックレンジ

ヒーター付排気スロットルバルブ－653

• フランジ内壁最高温度150℃
• 凝縮性ガスの液化、コンタミ防止
• ヒーターコントローラ（HC-1／HC-2）使用
• 温度センサ内蔵（Pt100）

スマート排気スロットルバルブ－153

• フランジ形式：ISO-KF／MF、ASA、CF、JIS
• フランジサイズ：最高4インチ
• スロットルバルブコントローラと排気バルブを一体化して
  コンピュータ制御に最適
• 入力信号：アナログ／RS232C（153D）

自動圧コントローラ－640/641

• F.S.レンジ：1.33kPa～689kPa
• 絶対圧（640A）／ゲージ圧（641A）を1台で自動制御、
  ダウンストリームも可能
• バラトロン圧力計と比例制御バルブを一体化

オールメタルシールコントロールバルブ－148

• F.S.レンジ（N²換算）：10～50,000sccm
• 運転温度：10～150℃
• オールメタルシール流量比例制御バルブ

圧力／流量制御用シングルガスコントローラ－946

• 電源出力：±15VDC、　250mA
• コントロールバルブ／圧力計（圧力制御）
• コントロールバルブ／流量計（流量制御）