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真空プロセス関連製品

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圧力計（バラトロン）

ガス成分を問わず高精度の測定を実現。有効数値は4桁（690Aは6桁）
※バラトロンは輸出貿易管理令該当機器となりますので、輸出の場合には適切な手続きを行ってください。

トランスデューサ 》絶対圧・絶対圧 温度制御型・差圧型・バラトロン用 電源／表示器

トランスデューサ（絶対圧）

高精度絶対圧トランスデューサ－AA06/AD06/670

  • F.S.レンジ：1.33ｘ101～3.33ｘ106Pa
  • 精度：読み値の0.05～0.12%
  • 有効数値：6桁制御温度：45℃

小型汎用絶対圧トランスデューサ－722

  • F.S.レンジ：1.33ｘ102～3.33ｘ106Pa
  • 入出力：+13～+32VDC入力、0～10VDC出力又は
    　　　　+110.8～+32VDC入力、0～5VDC出力
  • 精度：読み値の0.5%
  • 有効数値：4桁
  • 運転温度：0～50℃　15℃～40℃（01T、02T）

汎用絶対圧トランスデューサ－622/623/626

  • F.S.レンジ：1.33ｘ102～3.33ｘ106Pa(622B、626B）
    　　　　　　1.33ｘ103～3.33ｘ106Pa(623B）
  • 精度：読み値の0.25%（オプション0.15%）
  • 入力：±15VDC±5%、35mA
  • 出力：0~+10VDC出力
  • IOコネクタ：622（端子台1個）623（端子台2個）
    　　　　　　626（15ピンＤコネクタ）
  • 有効数値：4桁
  • 運転温度：0～50℃

トランスデューサ（絶対圧 温度制御型）

温度制御型絶対圧トランスデューサ－627

  • F.S.レンジ：2.66～1.33ｘ106Pa
  • 精度：読み値の0.12%
  • 入力：±15VDC±5%（Max250mA）
  • 出力：0~+10VDC出力
  • IOコネクタ：15ピンＤコネクタ
  • 有効数値：4桁
  • 制御温度：45℃
  • 運転温度：15～40℃

高温一体型絶対圧トランスデューサ－628

  • F.S.レンジ：6.65～1.33ｘ106Pa
  • 精度：読み値の0.25%（33.3、13.3、6.65Paは0.5%）
  • 入力： ±15VDC±5%（Max500mA）
  • 出力：0~+10VDC出力
  • IOコネクタ：15ピンＤコネクタ
  • 有効数値：4桁
  • 制御温度：100℃
  • 運転温度：15℃～50℃

高温一体型絶対圧トランスデューサ－631

  • F.S.レンジ：1.33ｘ102～1.33ｘ105
  • 精度：読み値の0.5%
  • 入力：±15VDC±5%（Max1.0A）
  • 出力：0~+10VDC出力
  • IOコネクタ：15ピンＤコネクタ
  • 有効数値：4桁
  • 制御温度：150℃、200℃
  • 運転温度：15℃～50℃

エッチング用絶対圧トランスデューサ－E27

  • 厳しいエッチングプロセスにおいても長期安定性を実現
  • F.S.レンジ： 2.67
  • 精度：読み値の0.12～0.25%
  • 入力：±15VDC±5%（Max0.25A）
  • 出力：0~+10VDC出力
  • 有効数値：4桁
  • 制御温度：E27D 45℃

絶対圧トランスデューサ－121/220

  • F.S.レンジ：1.33ｘ102～3.33ｘ106Pa
  • 精度：220D　読み値の±0.15%
    　　　121A　読み値の±0.5%
    　　　230E　読み値の±0.5%
  • 出力：220D：0～10VDC／4-20ｍＡ
    　　　121A　0～+10VDC
    　　　230E：＋24VDC～+30VDC
  • 有効数値：4桁
  • 運転温度：220D　15～40℃
    　　　　　121A　0～150℃（センサ＆ケーブル）
    　　　　　230E　0～100℃

トランスデューサ（差圧型）

高温度差圧トランスデューサ－221BD

  • FF.S.レンジ：1.33ｘ103～3.33ｘ106Pa
  • 精度：読み値の0.5%（＋温度係数）
    　　　有効数値：4桁
  • 運転温度：0～150℃（センサ）
    　　　　　0～50℃（プリアンプ）

トランスデューサ（バラトロン）用　電源／表示器

660

  • チャンネル数：1
  • ディスプレイ：4－1/2桁
  • 入力：100VAC
  • 出力：±15VDC、250mＡ
  • 接続：RS232C（オプション）

PDR2000

  • チャンネル数：2
  • ディスプレイ：4桁
  • 入力：100VAC
  • 出力：±15VDC、750mＡ
  • 接続：RS232C

PR4000

  • チャンネル数：PR4000B-S 1、PR4000B-F 2
  • ディスプレイ：デジタル：4-1/2桁、LCD
  • 入力：115/230VAC±15%、50/60Hz
  • 出力：0～±10VDC/0～±5VDC、4-20mA
  • 接続：RS232(標準)、RS485(オプション)