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真空プロセス関連製品

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日本MKS製品をはじめとして、半導体・ＦＰＤを始めとする様々な製造プロセスで用いられるガスの測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツを提供いたします。

ご紹介している下記製品以外にも多く取り扱っておりますので、お気軽にご相談くださいませ。

  • 圧力計(バラトロン)
  • マスフローコントローラ
  • 圧力コントロールシステム
  • GP・HPS ゲージ／継手／バルブ
  • Spectra プロセスモニタ／RGA
  • RF/DC電源
  • VUVイオナイザー

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