イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

光照射タイプ

光電離を利用した静電気除去装置

UVイオナイザ IUV-303

製品のカタログ請求が可能です。

減圧下での唯一の静電気除去技術

有機ELの製造プロセスをはじめ、不活性ガスや減圧下で静電気制御が必要な工程に画期的な性能でお応えするIUV-303紫外線照射イオナイザは、不活性ガス中や減圧下での静電気除去を可能にする唯一の除電システムです。ように開発致しました。従来のフォトイオナイザ同様電極からの発塵やオゾンの発生等の問題がなく、クリーンな除電を実現しています。

特徴

• (1)減圧下で最大の効果を発揮
• イオンの平均自由工程が減圧になるほど長くなるため、除電性能はさらに高まります。
• (2)短時間での除電が可能
• ウェハなどの帯電電位を1/10まで減衰するのに常圧下で1～2sec、減圧下では数msオーダで除電が可能です。
• (3)残留電位は0V
• 正負のイオン及び電位が空間に均一に分布するため、除電対象物の残留電位は0Vになります。
• (4)ガス流量依存性がありません
• 紫外線照射方式では、広範囲にガスをイオン化しているために、ガス流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。
• (5)電磁ノイズフリー
• 紫外線照射によるイオン化システムのたえ、電磁ノイズが発生しません。
• (6)あらゆる製造装置に適用可能
• 本システムを構成するのは、重水素ランプ、パワーユニット、フランジのわずか３点です。製造装置や搬送トンネルへの取り付けが容易です。
• (7)メンテナンスフリー
• イオンバランス調整などの日常のメンテナンスは必要ありません。重水素ランプの交換のみとなります。

紫外線からの距離と除電時間の関係

除電性能と雰囲気圧力の関係

※目に直接照射したり紫外線を長時間見つめたりしないでください。
※オプションでランプ運転時間タイマー(外付け)をご用意しています。