イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

バータイプ・天井用タイプ

環境の層流を利用した、クラス1〜100対応の装置・ルーム向けイオナイザ

MPエアロバー 5630

製品のカタログ請求が可能です。

ハイパフォーマンス・低ランニングコストのイオナイザです。

FPD製造向け設計

LCD製造工程でより高速な除電を行うためにイオナイザのガスパージ量を多くする、イオナイザと基板を近接させるなどの工夫がされておりますが、それらの工夫によって発生する問題もあります。ガスパージ量を多くすることによるランニングコストの増大や環境中の気流を乱して汚染リスクが増大する、イオナイザと基板を近接させることにより電極から発生している高電界の影響によって基板が帯電してしまうという問題です。これらの問題を低減したコロナ放電型イオナイザとして「MPエアロバー 5630」を推奨いたします。

モジュレーテッドパルス方式

コロナ放電型イオナイザはパルスDC方式、ストレートDC方式、AC方式パルスAC方式に大別されますが、近年のＬＣＤ製造工程ではパルスAC方式にガスパージを併用する方法が広く導入されています。ひとつの電極から正イオンと負イオンが１～３０Hzの周波数で発生するため、基板表面における正イオンと負イオンの偏りがないですが、他のAC方式やパルスDC方式同様、正イオンと負イオンを交互に基板に供給していることにはかわりがなく、一旦基板が除電された後は基板表面の電位がスイングしてしまい一定の電位を保持してしまいます。シムコ・イオンが開発したモジュレーテッドパスル方式（パルス変調方式）を採用したMPエアロバー 5630はこの電位スイングを低く抑制しつつ従来品と同等以上の除電能力を有し、且つイオナイザ１台毎の電極数を従来品より少なくすることガスパージ量を低減できるという特長があります。

海外サポートの充実

海外サポートの充実は、現地でのイオナイザ管理に欠かせないものです。シムコ・イオンでは世界各国に販売・サービス拠点を設置し、迅速かつ適切な海外現地サポートをいつでも必要な時に受けることが可能です。また、シムコ・イオンの製品はCE、RoHSなどの世界各国の規格に対応しており、海外でも安心してご使用いただけます。