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真空プロセス関連製品

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マスフローコントローラ

マスフローコントローラ

圧力ベースマスフローコントローラ-1640A

  • イオン注入のSDS用ガス供給
  • 常圧TEOS CDVのオゾン供給
  • ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ

一般プロセス用マスフローコントローラ-M100B/M10MB

  • F.S.10sccm~30slm
  • 新開発のセンサ、バルブ、バイパスにより様々な環境下で
     再現性ある制御を実現

大流量汎用マスフローコントローラ-1559A

  • F.S.20slm~200slm
  • 同仕様のマスフローメータ、コントロールバルブも有り

高温仕様オールメタルマスフローコントローラ/
メータ-M330H/M330MH

  • F.S.10sccm~40slm
  • 最高150℃まで運転可能
  • 低差圧仕様有り

シングルチャンネルパワーサプライ/リードアウト-246C

  • 電源出力:±15VDC、0.5A
  • 外部セットポイント入力可
  • ガス補正係数ポテンションメータ付

フロー/圧力プログラマ/ディスプレイ-647C

  • 電源出力:±15VDC、0.5A
  • RS232Cインターフェース付
  • 最高8つ(標準4つ)までのフローチャンネルと1つの圧力チャンネル

フローレシオコントローラ DELTA

  • MFCからの流量を指定された比に分流
  • 500/500、1000/1000、2000/2000、10000/10000
  • インターフェース:アナログまたはDevice-Net
  • 電源供給:+11~30VDC、2A
  • 出力電圧:0~5VDC、0~10VDC 選択可
  • 比例制御:1対20もしくは20対1

流量検定器

ガスボックス用流量ベリファイシステム-GBROR 

  • MFCを取り外すことなく流量精度をチェック
  • ガス種に依存しないRate-of-Rise方式を採用
  • 実ガスでの測定が可能で高精度
  • 測定流量レンジ:最高20slm