圧力ベースマスフローコントローラ－1640

• イオン注入のSDS用ガス供給
• 常圧TEOS CDVのオゾン供給
• ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ

シングルチャンネルパワーサプライ／リードアウト－246

• 電源出力：±15VDC、0.5A
• 外部セットポイント入力可
• ガス補正係数ポテンションメータ付

フローレシオコントローラ　1640

• MFCからの流量を指定された比に分流
500／500、1000／1000、2000／2000、10000／10000

• インターフェース：アナログまたはDevice－Net
• 電源供給：＋11～30VDC、2A
• 出力電圧：0～5VDC、0～10VDC 選択可
• 比例制御：1対20もしくは20対1