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真空プロセス関連製品

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圧力計(バラトロン)

ガス成分を問わず高精度の測定を実現。有効数値は4桁(690Aは6桁)
※バラトロンは輸出貿易管理令該当機器となりますので、輸出の場合には適切な手続きを行ってください。

トランスデューサ(絶対圧)

高精度絶対圧トランスデューサ-690A

  • F.S.レンジ:1.33x101~3.33x106Pa
  • 精度:読み値の0.05~0.12%
  • 有効数値:6桁制御温度:45℃

小型汎用絶対圧トランスデューサ-722A

  • F.S.レンジ:1.33x102~3.33x106Pa
  • 入出力:+13~+32VDC入力、0~10VDC出力又は
        +110.8~+32VDC入力、0~5VDC出力
  • 精度:読み値の0.5%
  • 有効数値:4桁
  • 運転温度:0~50℃ 15℃~40℃(01T、02T)

汎用絶対圧トランスデューサ-622B/623B/626B

  • F.S.レンジ:1.33x102~3.33x106Pa(622B、626B)
          1.33x103~3.33x106Pa(623B)
  • 精度:読み値の0.25%(オプション0.15%)
  • 入力:±15VDC±5%、35mA
  • 出力:0~+10VDC出力
  • IOコネクタ:622(端子台1個)623(端子台2個)
          626(15ピンDコネクタ)
  • 有効数値:4桁
  • 運転温度:0~50℃

トランスデューサ(絶対圧 温度制御型)

温度制御型絶対圧トランスデューサ-627D

  • F.S.レンジ:2.66~1.33x106Pa
  • 精度:読み値の0.12%
  • 入力:±15VDC±5%(Max250mA)
  • 出力:0~+10VDC出力
  • IOコネクタ:15ピンDコネクタ
  • 有効数値:4桁
  • 制御温度:45℃
  • 運転温度:15~40℃

高温一体型絶対圧トランスデューサ-628D

  • F.S.レンジ:6.65~1.33x106Pa
  • 精度:読み値の0.25%(33.3、13.3、6.65Paは0.5%)
  • 入力: ±15VDC±5%(Max500mA)
  • 出力:0~+10VDC出力
  • IOコネクタ:15ピンDコネクタ
  • 有効数値:4桁
  • 制御温度:100℃
  • 運転温度:15℃~50℃

高温一体型絶対圧トランスデューサ-631C

  • F.S.レンジ:1.33x102~1.33x105
  • 精度:読み値の0.5%
  • 入力:±15VDC±5%(Max1.0A)
  • 出力:0~+10VDC出力
  • IOコネクタ:15ピンDコネクタ
  • 有効数値:4桁
  • 制御温度:150℃、200℃
  • 運転温度:15℃~50℃

エッチング用絶対圧トランスデューサ-E27D/E28D/E29D

  • 厳しいエッチングプロセスにおいても長期安定性を実現
  • F.S.レンジ: 2.67(E28Dは6.65)
  • 精度:読み値の0.12~0.25%
  • 入力:±15VDC±5%(Max0.25A)
  • 出力:0~+10VDC出力
  • 有効数値:4桁
  • 制御温度:E27D 45℃/E28D100℃/
         E29D 45℃または100℃

絶対圧トランスデューサ-100シリーズ/200シリーズ

  • F.S.レンジ:1.33x102~3.33x106Pa
  • 精度:220D 読み値の±0.15%
       121A 読み値の±0.5%
       230E 読み値の±0.5%
  • 出力:220D:0~10VDC/4-20mA
       121A 0~+10VDC
       230E:+24VDC~+30VDC
  • 有効数値:4桁
  • 運転温度:220D 15~40℃
         121A 0~150℃(センサ&ケーブル)
         230E 0~100℃

トランスデューサ(差圧型)

汎用差圧トランスデューサ-223BD/229HD

  • F.S.レンジ:2.67x101~1.33x105
  • 精度:F.S.±0.3~0.5%(双方向)
       読み値の0.3%(単方向)
  • 有効数値:4桁
  • 運転温度:0~50℃

高温度差圧トランスデューサ-221BD

  • FF.S.レンジ:1.33x103~3.33x106Pa
  • 精度:読み値の0.5%(+温度係数)
       有効数値:4桁
  • 運転温度:0~150℃(センサ)
         0~50℃(プリアンプ)

トランスデューサ(バラトロン)用 電源/表示器

660B

  • チャンネル数:1
  • ディスプレイ:4-1/2桁
  • 入力:100VAC
  • 出力:±15VDC、250mA
  • 接続:RS232C(オプション)

PDR2000A

  • チャンネル数:2
  • ディスプレイ:4桁
  • 入力:100VAC
  • 出力:±15VDC、750mA
  • 接続:RS232C