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静電気対策商品

静電気対策材料

帯電しにくく、かつ電荷をゆるやかに拡散させる材料です。

剥離帯電防止コーディング

フラットパネルディスプレイ製造工程での剥離帯電防止コーティング

NF-685B/NF-685/NF-718ECB

剥離による静電帯電を長期に渡り抑制!剥離帯電起因の各種生産障害を解決し、しかもガラス基板をやさしく保護!

  • 吸着エネルギーが低く、非粘着性に優れ、摩擦係数が低いため、ガラス基板との相関作用が小さくなり、剥離による静電気の発生を抑制します。
  • 導電性コーティングなので、コーティング皮膜が帯電することはなく、ガラス基板へ悪影響を与えることがありません。
  • ガラス基板裏面からのコンタミネーションによる固着物を低減します。
  • リフトアップ時間を短縮できます。
  • フッ素樹脂の柔らかさが、ガラス基板をやさしく守ります。
  • 滑り性が良くなり、アライメント性能が向上します。
  • 長期間使用でもESD問題が発生せず、長寿命です。
  • 現在ご使用のプレートにも施工可能です。
高品質

徹底した品質管理の下、液晶及び半導体関連のコーティングは、クリーンルームにて施工します。コーティングへのコンタミネーションやインクルージョンを防止するためです。剥離帯電防止コーティングもクリーンルームで施工します。ガラス基板がチャックプレートに吸着されたときに、皮膜に混入した異物によって損傷を受ける事故を未然に防止するためです。

高精度大型ステージ

高い平面度要求にも対応

剥離帯電防止コーティング施工時には最高360℃で焼成するため、平面度要求の高いステージには熱歪み対策が必要です。製造元では、独自の施工技術の確立により、特殊工程にて高い平面度要求にも対応します。また、お客様との設計打ち合わせにより、用途と要求精度に応じた、最適工法のご提案をします。

高精度大型ステージ

第8世代対応のクリーンルーム内施工も実現しています。さらに、長年の経験と実績に培われた、高精度大型加工技術も確立。これまで以上に高い製作技術が要求される、高精度大型製造装置への採用も広がっています。

実績例

ステージサイズ 平面度
直径320×15mm 10μm
730×920×30mm 10μm
1,500×1,500×30mm 20μm
2,280×2,280×30mm 20μm

ステージ母材製作

ますます大型化する製造装置のステージでは、高い製作技術が必要です。特に平面度等に高精度が必要な場合には、コーティング施工時だけでなく、母材製作時にも特別な配慮と工程が不可欠です。高度な平面度要求に対応するため、母材製作からの一貫管理体制を整え、「高品質」「高精度」「大型」ステージの製作に対応しますので、まずは検討用図面をご用意下さい。

仕様

仕様 色  膜厚  特徴 
NF-685B   黒  30μm  標準品、
最多実績 
NF-685   白系  40μm  標準品 
NF-718ECB  黒  2mm   超膜厚、
2次加工用