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真空プロセス関連製品

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圧力コントロールシステム

ダウンストリーム制御

排気バルブの開閉によるコンダクタンス変化でプロセス圧を制御

排気スロットルバルブ-653B

  • フランジ形式:ISO-KF/NW
  • フランジサイズ:最高12インチ
  • 応答速度:1.7秒(開→閉)
  • フラッパ位置表示器付

排気スロットルバルブ-253B

  • フランジ形式:ISO-KF/NW
  • フランジサイズ:最高4インチ
  • 高いポンピング速度効率
  • 広いダイナミックレンジ

ヒーター付排気スロットルバルブ-253B/653B

  • フランジ内壁最高温度150℃
  • 凝縮性ガスの液化、コンタミ防止
  • ヒーターコントローラ(HC-1/HC-2)使用
  • 温度センサ内蔵(Pt100)

スマート排気スロットルバルブ-153D/F

  • フランジ形式:ISO-KF/MF、ASA、CF、JIS
  • フランジサイズ:最高4インチ
  • スロットルバルブコントローラと排気バルブを一体化して
    コンピュータ制御に最適
  • 入力信号:アナログ/RS232C(153D)

排気バルブコントローラ-651C

  • 排気バルブ653B/253Bに対応
  • 電源出力:±15VDC、0.5A/1.5A
  • セルブチューニング/デジタルPID制御
  • RS232Cインターフェース付

スロットルアイソレージョンバルブー656A

  • アイソレーションバルブ、スロットルバルブ
  • スロー排気バルブを一体化
  • ISO-KF/MF各種サイズおよびアングル/インライン
  • 加熱型オプション有

アップストリーム制御

流量コントロールバルブとバラトロン真空計による圧力制御

自動圧コントローラ-640A/641A

  • F.S.レンジ:1.33kPa~689kPa
  • 絶対圧(640A)/ゲージ圧(641A)を1台で自動制御、
    ダウンストリームも可能
  • バラトロン圧力計と比例制御バルブを一体化

オールメタルシールコントロールバルブ-148J

  • F.S.レンジ(N2換算):10~50,000sccm
  • 運転温度:10~150℃
  • オールメタルシール流量比例制御バルブ

圧力/流量制御用シングルガスコントローラ-250E

  • 電源出力:±15VDC、 250mA
  • コントロールバルブ/圧力計(圧力制御)
  • コントロールバルブ/流量計(流量制御)