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SpectraTMプロセスモニタ/RGA
大気圧オンラインモニタ－CirrusMT（シーラス）
- 高性能Q-Massを用いたEthernetインターフェース搭載の
ベンチトップ型ガス分析システム - ppb～％レベル検出が可能
- 用途：混合ガスの測定等
スマートヘッド4重極質量分析計－MicroVision 2
- 高速でワイドなダイナミックレンジ
- コントローラをアナライザに直接付けるスマートヘッドタイプ
- 汚染に耐性のあるダブルフィルタ
高圧力作動4重極RGA－SPECTRA HPQ3
- PVDプロセスでは差動排気系ポンプ不要
- 全自動in-situプロセスモニタリング可能
- 自動定期レポート可能なソフトウェア
4重極プロセスモニタ－Vision2000
- CVD、エッチング、イオン注入プロセスの
in-situ連続プロセスモニタリングが可能 - RGAアナライザ、真空システム、制御ユニット、ソフトウェア
からなる一体型システム
