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真空プロセス関連製品

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SpectraTMプロセスモニタ/RGA

大気圧オンラインモニタ-CirrusMT(シーラス)

  • 高性能Q-Massを用いたEthernetインターフェース搭載の
    ベンチトップ型ガス分析システム
  • ppb~%レベル検出が可能
  • 用途:混合ガスの測定等

スマートヘッド4重極質量分析計-MicroVision 2

  • 高速でワイドなダイナミックレンジ
  • コントローラをアナライザに直接付けるスマートヘッドタイプ
  • 汚染に耐性のあるダブルフィルタ

高圧力作動4重極RGA-SPECTRA HPQ2シリーズ

  • PVDプロセスでは差動排気系ポンプ不要
  • 全自動in-situプロセスモニタリング可能
  • 自動定期レポート可能なソフトウェア

4重極プロセスモニタ-Vision2000-C/E

  • CVD、エッチング、イオン注入プロセスの
    in-situ連続プロセスモニタリングが可能
  • RGAアナライザ、真空システム、制御ユニット、ソフトウェア
    からなる一体型システム