イオナイザ

帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、表面電荷を中和させる人工的なイオン生成装置です。
主要な除電対策のひとつで静電除去装置として認知されています。

光照射タイプ

光電離を利用した静電気除去装置

VUV(真空紫外線)イオナイザ L12542

製品のカタログ請求が可能です。

減圧下での唯一の静電気除去技術

VUV(真空紫外線)イオナイザL12542は、半導体・FDPなどの製造プロセスで、不活性ガスや減圧環境下での静電気トラブルを解決できる唯一の除電システムです。光照射式のフォトイオナイザと同様に電極からの発塵の問題がなく、クリーンな除電を実現しています。

特徴

• (1)減圧下で最大の効果を発揮
• イオンの平均自由工程が減圧になるほど長くなるため、除電性能はさらに高まります。
• (2)残留電位は0V
• 正負のイオン及び電位が空間に均一に分布するため、除電対象物の残留電位は0Vになります。
• (3)ガス流量依存性がありません
• 紫外線照射方式では、広範囲にガスをイオン化しているために、ガス流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。
• (4)電磁ノイズフリー
• 紫外線照射によるイオン化システムのため、電磁ノイズが発生しません。
• (5)あらゆる製造装置に適用可能
• 本システムを構成するのは、重水素ランプ、パワーユニット、フランジのわずか３点です。製造装置や搬送トンネルへの取り付けが容易です。
• (6)メンテナンスフリー
• イオンバランス調整などの日常のメンテナンスは必要ありません。重水素ランプの交換のみとなります。

除電効果

除電時間-距離

除電時間-真空度

VUVイオナイザ L12542　基本仕様
光源部(重水素ランプ)
方式	真空紫外線照射方式
寸法	60φ×160L(窓径26φ)
光源	真空紫外線重水素ランプ
放射紫外線波長範囲	115nm～400nm
冷却方式	ファンによる強制空冷式
窓材質	窓材 MgF2
質量	530g
電源部(パワーユニット)
寸法	117W×90H×200D
冷却方式	ファンによる強制空冷式
電源（AC）・消費電力	100～240V　50/60Hz　90VA
質量	1.8kg
真空フランジ(オプション)
規格	ICF114・JIS VF50
外形寸法図(mm)

※目に直接照射したり紫外線を長時間見つめたりしないでください。